可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高, 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视,氦质谱检漏仪的方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,不腐蚀零件;氦质谱检漏主要领域:空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦。
氦气是较轻的惰性气体,在喷出时会自动上升,为了准确找到漏孔位置喷氦,使用此方法时喷氦自上而下,由近至远(相对检漏仪的位置),这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入;质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。常用的传统气体管道检漏方法,如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用,检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。