氦质谱检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测，对被检件泄漏点进行定性、定量和定位的检测。仪器利用内置的真空系统，将被检气体抽入到仪器内部，然后将该混合气体离化，并将离子加速送入磁场当中，利用带电离子在磁场中的偏转效应，使氦离子与其它离子分离，通过对此氦离子信号的接收、放大和显示，从而反映出被测器件的密封性。
一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；定制的的密封接头，，减少误判。主要配置：检漏仪分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪电磁阀。内置标准漏口。 放大器。质谱模块。
氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；
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