氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。
为了避免串液故障发生，需要对导流区域和二道密封区域进行氦质谱检漏。 采用真空法进行检漏时，采用水环泵、旋片泵、不锈钢波纹管、球阀、节流阀组建真空系统。首先使用水环泵抽真空，然后充入氮气，再次使用水环泵抽真空，反复几次对换热器内部抽出水蒸气和粉尘。使用工业吸尘器对换热器外表面除尘和干燥。使用旋片泵抽真空和氮气置换的方式对换热器内部进一步干燥。干燥后在管热管抽真空后，在的漏点喷氦气，观察氦检仪显示情况。对漏点进行堵漏。
我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏，效果良好。 应用氦质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸枪法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸枪法。 机组正常运行时，真空系统内部处于负压状态，空气通过漏点被吸入凝汽器，终通过水环真空泵抽出，经过气水分离器从排气口排至大气。测试前，将氦质谱检漏仪测试口与吸枪探头通过吸气线连接，并将吸枪探头装设在分离器排气口处，启动氦质谱检漏仪，待检漏仪经过自检程序启动完毕，即可进入试验待检状态。
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