氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法,负压法和正压法,一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空,这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。氦质谱检漏主要领域:空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;对于体积较大的工件,采用背压发,按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;
氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体,氦是单原子稀有气体分子,在空气中的含量(5.2ppm), 无色、无味,常温下为气态的惰性气体,极不活泼,既不能燃烧,也不助燃,化学性能稳定。在检测器件的密封性能时,遇到器件大漏时,有大量的氦气进入氦质谱检漏仪,短时间内仪器内部氦气难以清除,造成仪器的本底升高,仪器的检测灵敏度降低,影响仪器的再次检测精度。