近年来，国内氦检漏系统产业链加速成熟，核心部件自研率已提升至60%以上，对进口设备的依赖度持续下降，国产替代进程明显提速。
据行业调研数据，2025年国内氦检漏系统市场规模约28亿元，其中国产品牌份额已从三年前的不足20%升至目前的38%左右。合肥、成都、上海等地多家企业在真空泵、质谱检漏模块、气路控制系统等关键部件上实现自主可控，部分产品性能已接近进口主流水平。
合肥某氦检漏设备企业负责人表示："三年前我们的真空泵和检漏探头基本靠进口，成本高、交期长。现在核心部件基本自研，整机成本降了近三成，交付周期也从原来的6至8周压缩到3周以内。"
核心部件自研率提升至60%以上，带来的最直接效果是价格和交付优势。当前国产氦检漏系统售价较同规格进口设备低30%至40%，且售后响应速度更快，部分厂商已能做到24小时内上门服务。这对半导体封装、新能源电池、航空航天等检测需求方而言，吸引力显著增强。
从应用端看，半导体封测和动力电池密封检测是国产氦检漏系统增长最快的两大场景。国内某头部电池企业透露，2024年其产线检漏设备国产化率已超过50%，计划2026年进一步提升至70%以上。
不过，业内人士也指出，在超高灵敏度检漏和大型系统集成领域，国产设备与进口品牌仍存在明显差距。尤其是检漏下限低于1×10⁻¹² Pa·m³/s的超高端应用场景，国产产品的稳定性和一致性仍需时间验证。
展望未来，随着核心部件自研率继续提升，叠加下游新能源和半导体产业的持续扩张，预计到2027年国产氦检漏系统市占率有望突破50%，核心部件自研率或将攀升至75%以上。
