检漏系统是一种用于检测和诊断管道泄漏的设备和技术。它通过检测流体中的泄漏来确定管道是否存在泄漏。检漏系统通常由传感器、控制器和执行器组成，其中传感器用于检测流体泄漏，控制器用于控制和调节流体流量，而执行器则用于执行修复或关闭泄漏的操作。检漏系统广泛应用于石油、、化工、电力和煤炭等行业，可以有效地减少泄漏对环境和人类健康的危害，提高生产效率和安全性。
氦检漏系统主要用于检测工业设备中的微量泄漏。它采用高纯度惰性气体——氦气作为示踪介质，通过测量其压力变化来评估设备的密封性能。该系统的应用范围广泛，包括但不限于：
*航空航天、领域的关键部件或精密仪器；
*压力容器和管道的在线监测与维护保养等；
*在汽车制造行业中用于检查发动机燃油系统和刹车管路的泄露情况以及在空调制冷系统中查验是否存在微小渗漏。
氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，主要用于真空系统中微小渗漏的查找和定位。它主要由主机、进气管道组件、离子源、收集极、高压电源、探测器等部分组成。
该系统的功能是利用高速流动的高纯度惰性气体（通常是氮或）流将待测区域与外部环境隔离，如果存在泄的话，那么在压力梯变的影响下空气中的分子会从有缝隙的地方跑出去形成气泡，从而产生声学信号或者叫作粒子束，通过测量这个声音可以确定具体的漏洞位置以及大小等信息。这种技术对各种材料均不敏感而且对于很小的体积也可以进行准确的测定，因此广泛应用于半导体工业中硅片芯片封装环境的监测以防止晶圆损伤；也应用于大规模集成电路生产线上检查每个密封件是否有缺陷。
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