随着全球半导体产业加速向先进制程迈进，氦检漏设备作为保障晶圆厂真空环境密封性的核心装备，正迎来需求爆发期。据QYResearch统计，2023年全球半导体用氦检漏设备市场规模达87亿元，同比增长42%，预计2025年将突破120亿元，中国厂商市占率三年间从12%跃升至28%。
扩产潮推高设备需求
台积电、三星、中芯国际等头部企业近年累计投入超5000亿元扩建12英寸晶圆厂，单座工厂需配置50-80台氦检漏设备用于真空腔体、气路系统的精密检测。某国产设备商透露，其今年新增订单中，半导体领域占比达65%，较2020年提升40个百分点。
技术壁垒与国产化突围
氦检漏设备需实现10⁻¹² Pa·m³/s级超微漏检测，长期被德国英福康、美国安捷伦等外资品牌垄断。近期，中科科仪、合肥真空等企业通过自主研发质谱分析模块与智能校准算法，将设备检测下限突破至0.5ppm，且价格较进口产品低30%-40%，已进入长江存储、华虹集团等供应链。
氦气短缺倒逼技术升级
受地缘政治影响，全球氦气价格较2021年上涨超300%，促使设备厂商加速研发“氦气循环利用系统”。某企业新推出的闭环检测设备可将氦气消耗量降低95%，单台设备年节省氦气成本超200万元，目前已在多家12英寸厂完成验证。业内人士指出，随着第三代半导体、存储芯片等高端产线建设提速，氦检漏设备将向高精度、智能化、低氦耗方向迭代，预计2024年国产设备在28nm以下制程市场的渗透率将突破40%。
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