受全球氦气供应链紧张及地缘政治因素影响，工业级氦气价格年内飙升320%，直接推高半导体、航天等领域检测成本。为破解困局，国内氦检漏设备头部企业近日集中发布“零氦消耗”技术方案，通过质谱仪闭环循环系统实现氦气100%回收利用，单台设备年节省成本超500万元。
技术突破：从“消耗品”到“循环体”
传统氦检漏设备需持续充入高纯氦气作为示踪气体，单次检测耗氦量达50-200升。而新研发的“磁悬浮分子泵+低温吸附”复合回收系统，可将泄漏氦气实时捕获、提纯并重新注入检测腔体，经第三方认证，在28nm以下晶圆厂产线实测中，氦气循环利用率达99.97%，检测精度保持0.1ppm级。
市场反响：订单量环比激增200%
某国产设备商透露，其“零氦消耗”系列机型发布两周内已获长江存储、中芯绍兴等企业订单超30台，占本月总订单量的65%。对比传统设备，新技术虽使单机成本上升15%，但两年内可通过氦气节省收回投资，客户采购意愿强烈。
行业影响：倒逼全球技术路线重构
国际氦气巨头林德集团随即宣布，将联合设备商开发“氦气租赁+智能回收”服务模式，试图维持市场优势。而国内政策层面，工信部《关键产业氦气保障行动方案》明确提出，2025年前实现氦检漏设备氦气消耗强度下降80%，新技术推广或加速这一目标达成。业内专家指出，随着3D NAND闪存、碳化硅功率器件等高精度制造需求增长，氦检漏设备正从“功能机”向“资源管理平台”进化，氦气循环技术将成为下一代设备的核心竞争点。
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