苏州氦检漏仪器在产品开发初期的包装组件的气密性验证用示踪气体法（氦质谱检漏）
检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，常用基础的有3种检漏方法。
1.负压法
该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对被检件抽真空检漏，然后用喷枪向可能泄漏处喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气通过漏孔进入氦质谱检漏仪被定量检测出。
2.正压法
又称吸枪检漏，将专用吸枪接在仪器检漏口上，被检件充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例氦氮混合气）。检漏时，吸枪沿可能泄漏处慢慢移动，被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入至仪器的质谱系统而被检测出。因为空气中含有5ppm的氦气，正压法检漏灵敏度相对负压法要低。
3.背压法
全密封件进行气密性检测时采用背压法。检漏前用压氦罐向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦气；或者先在被检件前道工艺中向产品内部封入氦气。被检件放入检漏罐中，再将检漏罐连接到氦质谱检漏仪，对检漏罐抽真空检漏，被检件有漏孔存在，通过漏孔压入（或封入）被检件的氦气会泄漏出来进入检漏罐，被氦质谱检漏仪定量检测到。用这种方法测得的漏率是总漏率。
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