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苏州氦检漏仪器的故障与处理

信息来源:www.jiadeluo.com   2021-05-24 11:34:21

    苏州氦检漏仪器是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高,用得普遍的检漏仪器。下面小编就来和大家简单的说说当仪器内部出现问题该怎么解决。

苏州氦检漏仪器的故障与处理


    1.内部的密封结构当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧,位于隔热板的上方:

    ①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动,此处容易造成密封胶开裂。

    ②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5年以上时,有可能会存在密封失效的问题。

    ③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

    2.定位方法采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:

    ①查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将氦源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。

    ②喷吹时,要严格控制氦源的流量,尽量采用喷枪咀流量小的喷枪,提高定位的能力。

    ③仪器的反应时间小于1s,所以在一个部位喷吹的时间约3s,再等待约3s后观测信号有无变化。

    3.处理方法不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法。

    ①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏,可先采用灌胶密封处理,若密封性仍不能满足要求,需从厂家购买新品进行更换。

    ②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏,则对密封圈进行更换,并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净,且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气,会影响仪器本底)等密封添加剂。

    ③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封,若有漏,更换密封圈即可。注意事项同上。

    ④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封,该密封环节在检测时极易被忽视,此处若有漏可先进行灌胶处理,但探针间距很小,可操作空间有限,若灌胶后密封效果不佳,则从厂家购买新品进行更换。